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首页 > 学位首页  > 直流/射频耦合磁控溅射类金刚石薄膜的制备与性能研究
目录 直流/射频耦合磁控溅射类金刚石薄膜的制备与性能研究
摘要: 类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶结构的薄膜材料,在激光惯性约束聚变(ICF)物理实验研究中,DLC薄膜因其具有良好的热稳定性能和光学透过性,高的力学强度、高的质量密度和结构致密无微结构缺陷等优良特性通常被选作为聚变点火靶丸的重要烧蚀层材料。随着国内ICF研究的不断深入,目前需要制备出大厚度且质量密度高,表面粗糙度较低和力学性能好的DLC薄膜。因此,开展大厚度...   查看全部>>

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