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首页 > 学位首页  > 溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备无衬底BaTiO3薄膜及其结构与性能研究
目录 溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备无衬底BaTiO3薄膜及其结构与性能研究
摘要: BaTiO3基陶瓷薄膜电容器因其比容量大、介质损耗小、使用温度较高及电容温度系数选择范围大等优势而得到广泛地应用。随着电子技术的发展,芯片集成度大幅度提升,使得表面贴装的空间受到很大的限制。而传统的薄膜电容器都由功能薄膜和起支撑作用的基底组成,为了适应电子产品小型化与薄型化的需求,芯片用嵌入式电容的问题亟待解决。
  为了解决这一问题,本文创新性地提出...   查看全部>>

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