绑定机构
扫描成功 请在APP上操作
打开万方数据APP,点击右上角"扫一扫",扫描二维码即可将您登录的个人账号与机构账号绑定,绑定后您可在APP上享有机构权限,如需更换机构账号,可到个人中心解绑。
欢迎的朋友
检索详情页
首页 > 学位首页  > 半导体Mg2Si薄膜的Al掺杂研究
半导体Mg2Si薄膜的Al掺杂研究
摘要: 本文采用磁控溅射方法在Si衬底和石英衬底上分别制备Al掺杂的Mg2Si半导体薄膜。主要研究的是Al掺杂量、Mg+Al膜溅射时间、退火温度对Al掺杂的Mg2Si半导体薄膜的晶体结构、表面形貌、电学性质、反射谱、透射谱、光学带隙的影响。
  本研究对掺杂元素及掺杂方式进行了选择,确定在 Mg靶上贴 Al片共溅的方式对Mg2Si进行Al掺杂。接着在Si衬底上...   查看全部>>

相关论文(与本文研究主题相同或者相近的论文)
同项目论文(和本文同属于一个基金项目成果的论文)
我的标签
您可以为文献添加知识标签,方便您在书案中进行分类、查找、关联
请输入添加的标签
公   告

北京万方数据股份有限公司在天猫、京东开具唯一官方授权的直营店铺:

1、天猫--万方数据教育专营店

2、京东--万方数据官方旗舰店

敬请广大用户关注、支持!查看详情

手机版

万方数据知识服务平台 扫码关注微信公众号

万方选题

学术圈
实名学术社交
订阅
收藏
快速查看收藏过的文献
客服
服务
回到
顶部