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拼接曝光系统及采用该系统的拼接曝光方法
摘要: 本发明披露了一种拼接曝光系统及采用该系统的拼接曝光方法,其通过重新设计适用于超大尺寸显示面板的拼接曝光系统,以实现大尺寸或曲面显示面板的高效制作,并且可以减少对成本和产能造成的影响。  
  • 专利类型:
    发明专利
  • 申请/专利号:
    CN201910960496.X
  • 申请日期:
    2019-10-10
  • 公开/公告号:
    CN110687757A
  • 公开/公告日:
    2020-01-14
  • 主分类号:
    G03F7/22(2006.01)  G  G03  G03F  G03F7 
  • 分类号:
    [G03F7/22(2006.01), G03F7/20(2006.01), G03F7/22, G03F7/20]
  • 申请/专利权人:
  • 发明/设计人:
  • 主申请人地址:
    518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
  • 专利代理机构:
    深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)
  • 代理人:
    杨瑞
  • 国别省市代码:
    广东;44
  • 主权项:
    1.一种拼接曝光系统,应用于一显示面板,所述显示面板划分成多个曝光区域,其特征在于,所述拼接曝光系统包括: 一掩膜板,所述掩膜板覆盖所述多个曝光区域中的其中一个曝光区域,所述掩膜板用于对所述曝光区域进行曝光; 一对挡板,所述一对挡板均设置于所述掩膜板的上方,所述一对挡板包括第一挡板和一第二挡板,所述第一挡板和所述第二挡板相对设置,所述第一挡板的一侧具有一第一透光区,所述第二挡板靠近所述第一透光区的一侧具有一第二透光区,所述第一透光区的中心线和所述第二透光区的中心线的其中一条与两个相邻曝光区域的拼接线重合。 2.根据权利要求1所述的拼接曝光系统,其特征在于,所述第一透光区和所述第二透光区具有互补的渐变图案。 3.根据权利要求1所述的拼接曝光系统,其特征在于,所述第一透光区和所述第二透光区具有互补的马赛克图案。 4.根据权利要求2或3所述的拼接曝光系统,其特征在于,所述第一透光区沿一预设方向的透光率由0连续变化至100%;所述第二透光区沿所述预设方向的透光率由100%连续变化至0。 5.根据权利要求2或3所述的拼接曝光系统,其特征在于,所述第一透光区沿一预设方向的透光率分别对应0至100%中的多个透光率;所述第二透光区沿所述预设方向的透光率分别对应100%至0中的多个透光率。 6.根据权利要求1所述的拼接曝光系统,其特征在于,所述第一透光区和所述第二透光区的宽度大于等于10mm。 7.一种采用权利要求1所述拼接曝光系统的拼接曝光方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一显示面板; 将所述显示面板划分成多个曝光区域; 在所述多个曝光区域中的其中一个曝光区域上方设置一掩膜板; 在所述掩膜板的上方设置一对挡板,其中所述一对挡板包括第一挡板和一第二挡板,所述第一挡板和所述第二挡板相对设置,所述第一挡板的一侧具有一第一透光区,所述第二挡板靠近所述第一透光区的一侧具有一第二透光区,所述第一透光区的中心线和所述第二透光区的中心线的其中一条与两个相邻曝光区域的拼接线重合; 通过一对挡板和掩膜板的配合设置,对待曝光的曝光区域进行曝光;以及 当曝光完毕之后,平移所述一对挡板和掩膜板至所述待曝光的曝光区域的相邻曝光区域进行曝光,直至对所述多个曝光区域均完成曝光操作。 8.根据权利要求7所述的拼接曝光方法,其特征在于,所述第一透光区和所述第二透光区具有互补的渐变图案。 9.根据权利要求7所述的拼接曝光方法,其特征在于,所述第一透光区和所述第二透光区具有互补的马赛克图案。
  • 法律状态:
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