绑定机构
扫描成功 请在APP上操作
打开万方数据APP,点击右上角"扫一扫",扫描二维码即可将您登录的个人账号与机构账号绑定,绑定后您可在APP上享有机构权限,如需更换机构账号,可到个人中心解绑。
欢迎的朋友
检索详情页
首页 > 专利首页 > 一种光刻机的取片装置
添加标签
×
已添加(0/5):

推荐标签:

一种光刻机的取片装置
摘要: 本实用新型公开了一种光刻机的取片装置,包括第一支撑板,第一支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第二支撑板,第二支撑板的顶端侧壁固定有气缸,气缸的活塞杆穿过第二支撑板固定有滑板,且滑板的一端在第一支撑板侧壁滑动连接,滑板的底端侧壁滑动连接有滑块,滑块远离滑板的一端固定有第三支撑板,第三支撑板的底端两侧固定有对称设置的固定板,其中一个固定板的一侧侧壁固定有步进电机,...   查看全部>>
  • 专利类型:
    实用新型
  • 申请/专利号:
    CN201920766077.8
  • 申请日期:
    2019-05-27
  • 公开/公告号:
    CN209939858U
  • 公开/公告日:
    2020-01-14
  • 主分类号:
    B65G47/90(2006.01)  B  B65  B65G  B65G47 
  • 分类号:
    [B65G47/90(2006.01), B65G49/06(2006.01), G03F7/20(2006.01), B65G47/90, B65G49/06, G03F7/20]
  • 申请/专利权人:
  • 发明/设计人:
  • 主申请人地址:
    473001 河南省南阳市信臣西路569号
  • 专利代理机构:
    北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
  • 代理人:
    王志敏
  • 国别省市代码:
    河南;41
  • 主权项:
    1.一种光刻机的取片装置,包括第一支撑板,其特征在于,所述第一支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第二支撑板,第二支撑板的顶端侧壁固定有气缸,气缸的活塞杆穿过第二支撑板固定有滑板,且滑板的一端在第一支撑板侧壁滑动连接,所述滑板的底端侧壁滑动连接有滑块,滑块远离滑板的一端固定有第三支撑板,第三支撑板的底端两侧固定有对称设置的固定板,其中一个固定板的一侧侧壁固定有步进电机,步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴,转轴远离步进电机的一端与另一个所述固定板侧壁转动连接,所述转轴的外侧壁开设有反向设置的螺纹,所述第三支撑板的底端侧壁滑动连接有对称设置的移动板,移动板上开设有左右贯穿的螺纹孔,且转轴的一端穿过螺纹孔。 2.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置,其特征在于,所述移动板相互靠近的一侧侧壁开设有凹槽,凹槽的一侧侧壁连接有压力传感器,所述凹槽的两侧侧壁之间滑动连接有调节板,调节板远离压力传感器的一侧侧壁固定有压板。 3.根据权利要求2所述的一种光刻机的取片装置,其特征在于,所述调节板远离压板的一侧侧壁安装有与凹槽侧壁固定有复位弹簧。 4.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置,其特征在于,所述滑板的底端一侧固定有推杆电机,推杆电机的输出轴与滑块侧壁固定。 5.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置,其特征在于,所述第一支撑板的一侧侧壁底部固定有控制箱,控制箱的底部固定有红外线传感器,所述控制箱的内部设置有单片机,单片机的输入端连接有红外线传感器以及压力传感器,所述单片机的输出端连接有气缸、步进电机以及推杆电机。
  • 法律状态:
相关专利(与本文研究内容相同或相近的专利)
相关论文(与本文研究主题相同或者相近的论文)
我的标签
您可以为文献添加知识标签,方便您在书案中进行分类、查找、关联
请输入添加的标签
公   告

北京万方数据股份有限公司在天猫、京东开具唯一官方授权的直营店铺:

1、天猫--万方数据教育专营店

2、京东--万方数据官方旗舰店

敬请广大用户关注、支持!查看详情

手机版

万方数据知识服务平台 扫码关注微信公众号

万方选题

学术圈
实名学术社交
订阅
收藏
快速查看收藏过的文献
客服
服务
回到
顶部