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1.硅(100)衬底表面快速热退火制备硒纳米晶薄膜的结晶动力学

periodical_cldb201811022

[期刊论文]潘书万庄琼云陈松岩等-《材料导报》北大核心CSTPCDEI2018年11期

摘要：采用超高真空气相沉积系统在 Si(100)衬底上制备非晶硒(Se)薄膜,然后快速热退火制得 Se纳米晶薄膜.SEM 观察结果表明,当热退火温度高于 140 ℃,薄膜表面形貌从条状裂纹逐渐变成孤立的六角块状结构.Raman和 XRD测试分析发现,退火后的 Se纳米晶均为三角晶型结构,当退火温度高于 140 ℃时,Se开始沿(100)方向择优取向结晶.分析得出,在 Si(100)衬底上的Se晶粒(

硒纳米晶薄膜结晶动力学硅衬底快速热退火

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