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[专利] 发明专利 CN201810651088.1
西安交通大学 2018-10-16
摘要:本发明公开了光纤悬臂梁振动传感器及其制备方法,包括硅基座、光纤悬臂梁、封装壳体及单光纤准直器,其中,封装壳体固定于硅基座上,且封装壳体的底部设置有第一凹槽,硅基座的上表面设置有开设有第二凹槽及第三凹槽,其中,第二凹槽与第三凹槽相连通,第一凹槽位于第二凹槽的正上方,单光纤准直器的端部插入于第一凹槽内,光纤悬臂梁的端部沿第三凹槽伸入到第二凹槽内,且光纤悬臂梁的端部射出的光线经第二凹槽的内壁反射后入射到单光纤准直器中,该传感器能够实现振动的测量,同时体积小,抗电磁干扰能力强,同时制备方法简单,易于实现。
[专利] 发明专利 CN201810646538.8
摘要:本发明公开了一种具有奇异微结构的超疏水薄膜及其制备方法,包括:在金属板上加工通孔微阵列图形结构;在下电极板上旋凃一层热固性聚合物聚二甲基硅氧烷;金属通孔模板放置在聚合物涂层上方并形成微接触;将上电极板与下电极板组成一对平面电极,上电极板和金属通孔模板之间留有预设的空气间隙,上电极板与下电极板通入高压电源并保持,使聚合物受到的电场力大于自身的表面张力,直至聚合物成型结束;将成型结束的聚合物固化,获得具有奇异微结构的超疏水薄膜。本发明的制备方法是基于电场诱导的制备方法,无需昂贵的低表面能材料,工艺简单,成本较低;制备过程中无需使用有毒的苯系物,有利于工程中的大规模应用。
[专利] 发明专利 CN201810627876.7
苏州大学 2018-09-11
摘要:本发明涉及一种磁控介质阻挡放电阳极键合系统及方法,该系统包括工作台,工作台包括平行设置的第一电极和第二电极;磁控模块,磁控模块产生周期变化的磁场;电源模块,电源模块与第一电极和第二电极电性连接;加热装置,加热装置用于提供键合所需温度;驱动装置,驱动装置与第一电极连接,驱动装置驱动第一电极在竖直方向的移动区域内上下移动。该方法先设置磁控介质阻挡放电阳极键合系统的相关参数,然后通过驱动装置使第一电极位于第一位置,再通过磁控模块对玻璃器件和硅器件进行放电预处理,最后使第一电极位于第二位置,进行阳极键合。其将磁控强化、预处理放电和阳极键合三者一体化控制,最终形成多能场耦合键合,实现低温高效阳极键合。
[专利] 发明专利 CN201810568852.9
摘要:本发明公开了一种微透镜阵列的加工方法,所述加工方法包括:提供一基底,所述基底包括相对的第一表面和第二表面;在所述基底的第一表面涂覆一层光刻胶膜层;对所述光刻胶膜层进行处理,形成光刻胶阵列;在所述光刻胶阵列上涂覆一层定型膜层,所述定型膜层完全覆盖所述光刻胶阵列;对所述基底的第二表面进行加热处理;将所述定型膜层去除。该加工方法在不影响微透镜阵列成型的基础上,实现对于微透镜之间粘连和在基底上移动等现象的有效限制。
[专利] 发明专利 CN201810556882.8
徐州医科大学 2018-10-19
摘要:本发明提供一种金纳米片修饰的碳纤维SERS基底材料及其制备方法和应用,制备方法包括:以碳纤维为载体,在所述碳纤维表面吸附TiO2纳米颗粒;将表面吸附TiO2纳米颗粒的碳纤维置于盐酸和钛源的混合溶液中进行水热反应,在碳纤维表面生长TiO2纳米柱阵列;将表面生长有TiO2纳米柱阵列的碳纤维浸泡在含有金离子的溶液中进行水热反应沉积金纳米片,反应结束后用去离子水清洗并干燥,即得金纳米片修饰的碳纤维SERS基底材料。本发明制备的金纳米片修饰的碳纤维SERS基底不仅具有较好的SERS增强效果,而且具有良好的均一性和稳定性,可很好地应用于有机和生物分子的分析检测中。
[专利] 发明专利 CN201810553113.2
摘要:本申请提供了一种封闭结构、其制作方法与器件。该制作方法包括:形成预封闭结构,预封闭结构包括第一基底和第二基底,第一基底具有第一待封装部和介质填充槽,第二基底具有第二待封装部,介质填充槽的槽壁与第二基底在第一方向上具有第一间隔,第一待封装部的侧壁与第二待封装部的侧壁在第一方向上具有第二间隔,第一待封装部与第二待封装部之间形成容纳空间,预封闭结构还包括至少两个金属部,金属部的至少部分位于容纳空间内;加热预封闭结构,使得至少两个金属部中的至少两种金属发生共晶反应,形成共晶部,共晶部将第二间隔封闭,形成封闭结构,共晶部的熔点高于发生共晶反应的任一种金属的熔点。该制作形成的封闭结构的可靠性较高。
[专利] 发明专利 CN201810535309.9
摘要:本发明涉及半导体技术领域,公开了一种带结构图形的衬底与玻璃的阳极键合方法,该方法包括:S11、带结构图形的衬底上表面设置至少一层绝缘层;S12、在绝缘层的上表面沉积富硅薄膜,通过光刻工艺与刻蚀工艺对富硅薄膜进行图形化处理,形成图形化的富硅中间层;S13、将富硅中间层与玻璃的下表面接触压紧,阳极键合的阴极与玻璃的上表面电连接,阳极与富硅中间层电连接,加压加温进行阳极键合。上述阳极键合方法,通过在带结构图形的衬底正面沉积并形成图形化的富硅中间层,实现带结构图形的衬底正面与玻璃之间的阳极键合,以将结构图形保护在真空中不受外界影响,使采用此方法完成的器件可用于各种复杂环境,从而提高其适用范围。
[专利] 发明专利 CN201810527165.2
摘要:本发明公开了一种可变MEMS微波滤波器的发卡型可变电极单元结构,包括:硅衬底;设置在所述硅衬底第一面上的发卡型谐振器电极;设置在所述硅衬底第一面上的电极延伸结构,且所述电极延伸结构位于所述发卡型谐振器电极的端部延伸位置;设置在所述发卡型谐振器电极端部与所述电极延伸结构之间的MEMS开关;以及设置在所述硅衬底与第一面相对的第二面的背部电极。
[专利] 发明专利 CN201810530684.4
东南大学 2018-10-26
摘要:本发明公开一种基于纳米光栅的单片集成陀螺仪及其加工方法,陀螺仪包括集成光源、带纳米光栅微谐振器和集成光电转换器;集成光源上对称设有第一反射面,两个第一反射面外侧分别设有光源,相邻两个第一发射面和光源之间设有第一光路;微谐振器由上至下包括盖帽、微谐振器和衬底,微谐振器包括质量块、驱动框架和解耦梁结构,可动光栅附着在微谐振器的质量块下方,可动光栅下方的衬底设有固定光栅,盖帽对应驱动框架四周处设有第一通孔,集成光源设有第二通孔;集成光电转换器上对称设有第二反射面,两个第二反射面外侧分别设有集成光电二极管,相邻两个第二发射面和集成光电二极管之间设有第二光路。本发明测量精度和集成度高、体积小、实用性强。
[专利] 发明专利 CN201810530466.0
上海交通大学 2018-09-21
摘要:本发明提供了一种高频交流电驱动的局域阳极氧化加工方法,包括:提供一衬底、一待加工样品和一导体探针,所述待加工样品位于所述衬底上,所述衬底为包含电介质层和导电层的双层结构,所述电介质层位于所述导电层上方并与所述待加工样品相接触,在所述导体探针与所述导电层之间施加高频交流电压,所述导体探针在所述待加工样品表面沿加工路径移动,以使得所述加工路径上的所述待加工样品被氧化。本发明提供的高频交流电驱动的局域阳极氧化加工方法适用于低维纳米样品加工刻蚀,工艺简单,无需加工微纳电极,且加工质量优于传统直流电阳极氧化方法。
[专利] 发明专利 CN201810511940.5
辽宁工业大学 2018-10-26
摘要:本发明公开了一种微流控芯片数控加工仪,包括加工台、滑轨、滑块、升降电机、丝杆、升降台、驱动电机和铣刻刀具,所述升降台上分别开有内螺纹孔和光滑通孔,升降台通过螺纹孔螺纹安装在丝杆上所述升降台右端固定安装有驱动电机,驱动电机的输出轴向前且驱动电机的输出轴上过盈配合安装有偏心轮,所述升降台的下侧对称焊接有导柱,滑块滑动安装在导柱上,滑块的下侧固定安装有铣刻刀具。本发明中,微流控芯片微加工系统,可广泛适用于各种微流控芯片片基的加工,操作方面,加工周期短,工艺简单,消耗少,精度高,重复性好,对微流控芯片制作和基于微流控芯片的基础和应用研究具有重要意义。
[专利] 发明专利 CN201810512799.0
湖北大学 2018-09-28
摘要:本发明涉及一种基于超长氧化钼纳米线阵列排列的操控方法及其离子检测器的制作方法,包括:超长氧化钼纳米线的制备、电极的制备、介电泳对超长纳米线的排列等步骤,离子检测器的制作还包括微通道的设计与制备以及器件组装的步骤。所述方法既解决了纳米线长短不一交乱排列在电极间的冗杂问题,也提高并优化了纳米线在微电极上组装的稳定性。同时结合微通道等新型芯片实验室来对不同离子进行一个敏感型探测。本发明既可应用在微通道中形成有效阵列检测不同离子浓度,也可用于在氢气敏感元件的制备之中,能够有效提高氢气传感的性能。
[专利] 发明专利 CN201810498549.6
常熟理工学院 2018-09-28
摘要:一种微机电系统技术领域硅微通道板中生长异质结的方法,包括以下步骤:S1,将硅微通道板浸入表面活性剂中,排除硅微通道内空气并且活化硅,然后放入化学镀镍溶液中镀多孔镍;S2,将镀镍硅微通道板放入混有钠盐催化剂的多元醇中超声,然后进行溶剂热反应形成碳化镍包覆内壁的镀镍硅微通道板;S3,再退火得到石墨烯包覆内壁的镀镍硅微通道板;S4,将石墨烯包覆内壁的镀镍硅微通道板投入硫源和钼源混合溶剂中加热反应,形成二硫化钼/石墨烯异质结包覆内壁的镀镍硅微通道板。本发明通过逐步进行的化学镀镍、溶剂热渗碳和水热合成能够在硅微通道内生长异质结,该方法环境友好、简单易行、成本低廉。
[专利] 发明专利 CN201810502189.2
摘要:本发明方法针对微波基片形成腔体结构存在的腐蚀锥度、腐蚀速率低以及腔体尺寸一致性等问题,提出采用聚焦的激光束进行硅基材料的去除从而形成腔体结构的方法。所述制作方法包括:(1)微波基片前处理及电路图形保护;(2)激光束刻蚀微波基片形成一定深度的腔体;(3)微波基片后处理;本发明通过激光束的移动刻蚀出沟槽,而沟槽的重叠可以实现一定区域的材料去除。在需要刻蚀的区域内重复加工实现一定的刻蚀深度,从而形成一定深度的腔体结构。进一步利用激光能量清洁腔体底部,在不损害基体的同时达到清洁的目的。本发明具有控制精度高,效率高,环境友好,腔壁垂直度好,与微波基片电路制作工艺兼容性好等优点。
[专利] 发明专利 CN201810490519.0
摘要:本发明公开了一种在MEMS结构中制造金属引脚垫的方法,包括:提供半导体基体结构,在所述半导体结构上生长层间介质层;在所述层间介质层上生长钝化层;在所述钝化层上刻蚀通孔;在所述刻蚀有通孔的半导体基体结构上沉积保护层;在所述保护层上生长金属引脚垫;湿法刻蚀去除未被金属引脚垫填充和覆盖的保护层。本发明通过对薄膜制备工艺的优选和附加使用释放内应力集中的退火工艺,能够有效防止介质层和钝化层的破裂,避免器件经历多次湿法刻蚀时刻蚀溶液对金属线的腐蚀,大大提高器件的良率和可靠性。
[专利] 发明专利 CN201810478271.6
摘要:本发明提供的无胶自排气保护膜包含一薄膜基材,薄膜表面具有等级凸起结构。第一级凸起结构形成于该薄膜表面,形成微米尺度的凸起阵列,第二级纳米尺度凸起结构位于第一级凸起结构之上,产生“壁虎脚”效应,通过两级凸起结构来适应起伏粗糙的被贴附物表面,实现保护膜纳米尺度凸起与被帖物之间的理想接触,进而保证大量范德华力的叠加产生足够的黏附力;同时,等级凸起结构之间的间隙提具有等级孔道的供导气孔路以实现快速排气,保证大面积的理想贴合。
[专利] 发明专利 CN201810478743.8
摘要:本发明公开了一种激光扫略制备电热自循环微流控系统的方法及微流控系统,首先利用飞秒激光或纳秒激光对ITO玻璃基体进行切割,实现图案化,得到表面含有叉指状非对称结构的电热流泵电极的电极基底层,其次制备流道层和盖板层,所述流道层中分布有由流道串联的换液入口区、缓冲区以及生理模型区,最后将电极基底层、流道层和盖板层键合在一起,构成微流控系统,其中所述电热流泵电极位于所述换液入口区和缓冲区之间。本发明首次将激光刻蚀用于电热自循环微流控系统的制备,其电极制作过程简单方便,精度高,能够显著提高相同面积上电热流泵电极的排布数量,提高泵送效率。
[专利] 发明专利 CN201810482862.0
摘要:本发明提供了一种压力传感器,包括由下而上依次设置的衬底、支架、若干层的薄膜层和电极,支架上设有腔体,电极位于所述薄膜层的两端;所述薄膜层的层数大于1,且所述薄膜层为叉指结构。本发明提供的压力传感器,将薄膜层设置成叉指结构,在较大压力下发生层移,但不会形成裂纹,从而增强抗应变能力,实现高灵敏度、大量程、高稳定性和高可靠性的压力传感器。
[专利] 发明专利 CN201810468272.2
沈阳工业大学 2018-10-12
摘要:本发明以MEMS工艺为基础,提出了一种植入式眼压连续监测与控制系统及其制备方案。利用柔性电容压力传感器实时监测患者房水的流量,进而得到其眼压的变化情况。依据患者眼压变化,通过频率响应开关控制PZT阀门,实现对患者眼压的精确调节。采用全固态超级电容器及相应的无线充电电路为系统供电,满足长时间体内工作的需求。一种植入式眼压连续监测与控制系统可成功解决目前眼压监测与调节器械分立,功能无法互补的问题,为提高临床眼压监测与调节器械的集成化程度,改善体内植入及可穿戴医疗设备的用户体验,加速智能化精密传感器的商品化奠定了基础。
[专利] 发明专利 CN201810464245.8
摘要:本发明涉及材料领域,公开了微型立体器件及其制备方法和应用。一种微型立体器件的制备方法,包括以下步骤:(A)制备具有多个图案化结构单元且具有亲水性质的基底,其中,相邻的两个图案化结构单元之间的距离D与图案化结构单元的尺寸d的比值不小于2;(B)将所述基底与表面平整的基材进行组装,得到具有夹层的微流体装置;(C)将含有第一功能材料和第一溶剂的第一溶液注入微流体装置并充满夹层,然后通入气体将第一溶剂蒸发,在图案化结构单元的表面形成第一功能材料的三维自组装结构,得到含有单层功能材料的微型立体器件。该微型立体器件可以满足小型化和立体化的高精度要求,且制备成本大大降低。
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